晶圓級(jí)封裝等離子清洗機(jī)預(yù)處理的目的是去除表面的無機(jī)物,減少氧化層,增加銅表面粗糙度,提高產(chǎn)品的可靠性。等離子清洗機(jī)用于晶圓級(jí)封裝前表面預(yù)處理、晶圓級(jí)鍵合前表面活化、光刻膠涂覆前表面活化、晶圓表面較小particle去除、表面有機(jī)殘留去除等。