等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、活化和表面準(zhǔn)備等。主要是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。
等離子清洗機(jī)的表面刻蝕功能
用等離子清洗機(jī)，等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不僅去除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用材料表面進(jìn)行處理達(dá)到凹蝕蝕刻的效果，形成許多微細(xì)坑洼，增大了材料的比表面。提高材料間的粘接力與持久力和材料表面的潤(rùn)濕性能。
等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的低溫等離子體有獨(dú)特的物理和化學(xué)特性，可以用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子接枝聚合，等離子活化、等離子沉積等表面改性工藝品
等離子表面改性設(shè)備是非常先進(jìn)的等離子清洗機(jī)，即利用等離子體和才料表面進(jìn)行相互作用的過(guò)程，通過(guò)等離子體里面的各類活性粒子撞擊材料表面，從而大大提高材料表面特性
等離子清洗機(jī)（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂
等離子清洗機(jī)的表面刻蝕功能
使用等離子清洗機(jī)可以將材料表面進(jìn)行處理達(dá)到凹蝕蝕刻的效果，可提高材料間的粘接力與持久力，產(chǎn)品良率與產(chǎn)品品質(zhì)也明顯提高。