等離子清洗機(jī)應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子噴涂、等離子噴涂和表面改性。經(jīng)過等離子清洗機(jī)的處理,增強(qiáng)了材料表面的潤濕性,使多種材料可涂覆.鍍等操作,提高粘結(jié)力,同時去除有機(jī)污染物。等離子清洗機(jī)是利用這些活性成分對樣品進(jìn)行表面處理,從而實現(xiàn)清潔等目的。
等離子清洗機(jī)主要通過活性等離子體對材料表面進(jìn)行物理轟擊或化學(xué)反應(yīng)等單一或雙重作用,從而實現(xiàn)材料表面分子水平的污染物去除或改性。等離子清洗機(jī)有效應(yīng)用在IC封裝工藝中,能夠有效去除材料表面的有機(jī)殘留、微顆粒污染、氧化薄層等,提高工件表面活性,避免鍵合分層或虛焊等情況。
等離子清洗機(jī)有幾種稱謂,英文叫Plasma Cleaner又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī),等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī),Plasma清洗機(jī),等離子去膠機(jī),等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合
通過等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂,等離子體清洗機(jī)可以不分處理對象,它可以處理各種各樣的材質(zhì),無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物,還是高分子材料都可以使用等離子體清洗機(jī)來處理
引線鍵合前進(jìn)行等離子清洗機(jī)處理,可顯著提高其表面活性,提高鍵合強(qiáng)度及鍵合引線的拉力均勻性。
LED封膠前通過等離子清洗機(jī)進(jìn)行表面處理,芯片與基板會更加緊密地和膠體相結(jié)合,氣泡的形成將大大減少,同時也將顯著提高散熱率及光的出射率。
等離子清洗機(jī)的應(yīng)用原理是通過化學(xué)或物理作用,對工件表面進(jìn)行處理實現(xiàn)分子水平的污染物去除( 一般厚度為3~ 30 nm),從而提高工件表面活性。被去除的污染物可能有有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等,所以等離子清洗機(jī)處理工藝是一種高精密清洗。