微流體系統(tǒng)領(lǐng)域是PDMS中常見(jiàn)的一種應(yīng)用，它是根據(jù)用戶(hù)要求將指定的硅氧烷結(jié)構(gòu)化，用等離子體清洗機(jī)處理，能將PDMS晶片，硅片或其它基材長(zhǎng)久地涂覆于該晶片上。
等離子清洗機(jī) / 等離子刻蝕機(jī) / 等離子處理機(jī) / 等離子去膠機(jī) / 等離子表面處理機(jī)，等離子體清洗機(jī)，刻蝕表面改性
等離子清洗機(jī)有幾種稱(chēng)謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱(chēng)等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，Plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場(chǎng)合。
通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂，等離子體清洗機(jī)，刻蝕表面改性
等離子清洗機(jī)對(duì)晶圓表面預(yù)處理增加表面親水分子團(tuán),提高表面能量，促進(jìn)粘附性
利用等離子清洗機(jī)來(lái)進(jìn)行微流控PDMS芯片的等離子體鍵合，使用等離子清洗機(jī)能改變玻璃和PDMS的表面性質(zhì)。等離子體清洗機(jī)的處理會(huì)改變玻璃和PDMS芯片表面的化學(xué)性質(zhì)并允許把帶有微通道的PDMS粘接到其他基底上如(PDMS或玻璃)。