等離子清洗機(jī)是一種新興的清洗技術(shù)，可以廣泛應(yīng)用于微電子加工領(lǐng)域的各個(gè)工序，特別 是在組裝封裝工序中，等離子清潔機(jī)能夠有效地去除電子元器件表面的氧化物和有機(jī)物，有助于提高導(dǎo)電膠的粘附性能、焊膏的浸潤(rùn)性能、鋁線鍵合的鍵合強(qiáng)度以及金屬外殼的封裝可靠性。
等離子清洗機(jī)是一種提高表面活性的技術(shù)工藝，輸入射頻能量將氣體電離為包含正離子、負(fù) 離子、自由電子等帶電粒子和不帶電中性粒子的正負(fù)電荷相等的等離子狀態(tài)，這些等離 體通過(guò)化學(xué)和物理的作用對(duì)被清洗器件的表面進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)分子水平的污漬、沾污去除 作用。
等離子清洗機(jī)可以改善鍵合界面的特性，提高鍵合質(zhì)量的一致性和可靠性。采用等離子清洗機(jī)能夠有效去除芯片、基片表面的氧化物。
等離子清洗機(jī)可以去除基片表面的氧化物和有機(jī)物沾污，提高基片以及元器件粘接區(qū)的浸潤(rùn)性和活性，有利于提高元件的粘接強(qiáng)度，減小基片與導(dǎo)電粘接材料間的接觸電阻 。
等離子清洗機(jī) / 等離子刻蝕機(jī) / 等離子處理機(jī) / 等離子去膠機(jī) / 等離子表面處理機(jī)
等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，Plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場(chǎng)合。通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂
經(jīng)過(guò)等離子清洗機(jī)處理后的厚膜HIC，可以有效提高鍵合、元件粘接的可靠性。對(duì)于相對(duì) 成熟的鍵合、粘接工藝，等離子清洗機(jī)對(duì)于厚膜HIC質(zhì)量的提升，很大程度上體現(xiàn)在提高加 工的一致性，使電路具有更高的可靠性。