plasma 等離子清洗機(jī)是通過常壓或真空環(huán)境下產(chǎn)生的等離子體，對材料表面進(jìn)行清洗、活化，刻蝕等處理，以獲得潔凈、有活性的表面，增加了產(chǎn)品的耐用性，同時為后道的工續(xù)（例如印刷、粘接、貼全、封裝）提供良好的界面狀態(tài)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、航空航天技術(shù)、PCB電路板、LCD、LED產(chǎn)業(yè)，光伏太陽能、手機(jī)通訊、光學(xué)材料，汽車制造，納米技術(shù)、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。

等離子清洗機(jī)一種新型的材料表面改性方法，等離子清洗機(jī)具有低能耗、污染小、處理時間短、效果等明顯的特點(diǎn)，可以輕松去除肉眼看不到的材料表面的有機(jī)物和無機(jī)物，同時活化材料表面，增加浸潤效果，提高材料的表面能，附著力和親水性。等離子清洗機(jī)省去了濕法化學(xué)處理工藝中所不可缺少的烘干，廢水處理等工藝；若與其他干式工藝如放射線處理、電子束處理、電暈處理等相比，等離子清洗機(jī)獨(dú)特之處在于它對材料的作用只發(fā)生在其表面幾十至數(shù)千埃厚度范圍內(nèi)，既能改變材料表面性質(zhì)又不改變本體性質(zhì)。

●等離子清洗機(jī)在紡織行業(yè)的”清洗“應(yīng)用：等離子清洗機(jī)采用的等離子體表面處理技術(shù)是一種綠色、環(huán)保、**、節(jié)能的干式加工方式,低溫等離子體中的高能活性粒子與材料表面相互作用，例如：表面活化、接枝聚合等，改變了材料表面的形貌特征和化學(xué)組成。

等離子體是呈電中性的基團(tuán)，但其中含有大量的活性粒子：電子、離子、激發(fā)態(tài)分子原子、自由基、光子等，它們的能量范圍在1-10eV，這樣的能量級別是紡織材料中有機(jī)分子的結(jié)合能的能量范圍，因此等離子體中的活性粒子會和紡織材料表面發(fā)生物理和化學(xué)作用，物理作用如解吸、濺射、激發(fā)、刻蝕；化學(xué)反應(yīng)例如交聯(lián)、氧化、聚合、接枝等。

●等離子清洗機(jī)對金屬表面“清洗”

金屬表面常有機(jī)層和氧化物層，如油脂、油污等，用等離子清洗機(jī)清洗油污是一個使有機(jī)大分子逐步降解的過程，在濺射、油漆、粘接、焊接、釬焊和PVD、CVD涂層前，等離子清洗機(jī)是一種清洗很精細(xì)、很徹底的表面處理設(shè)備。通過等離子體中的高能量粒子，臟污會轉(zhuǎn)化為穩(wěn)定的小型分子 ，經(jīng)過等離子清洗機(jī)處理過的物體表面形成許多新的活性基團(tuán)，使物體表面發(fā)生“活性”而改變性能，可以大大改善物體表面浸潤性能和黏著性能，等離子清洗過程中不需要水和溶劑，只要空氣就能夠滿足要求，使用方便而且沒有污染，清洗完成之后物體表面是徹底干燥的。

●等離子清洗機(jī)對IC芯片的清洗：

在IC芯片制造領(lǐng)域中，等離子體處理機(jī)已是一種不可替代的成熟工藝，不論在芯片源離子的注入，還是晶元的鍍膜，等離子清洗機(jī)能輕松去除晶元表面氧化膜、有機(jī)物、去掩膜等超凈化處理及表面活化提高晶元表面浸潤性。

對芯片與封裝基板的表面采用等離子體清洗機(jī)的處理能有效增加其表面活性，極大的改善粘接環(huán)氧樹脂在其表面的流動性，提高芯片和封裝基板的粘結(jié)浸潤性，減少芯片與基板的分層，改善熱傳導(dǎo)能力，提高IC封裝的可靠性、穩(wěn)定性，增加產(chǎn)品的壽命。

集成電路引線鍵合的質(zhì)量對微電子器件的可靠性有決定性影響，鍵合區(qū)必須無污染物并具有良好的鍵合特性。污染物的存在，如氧化物、有機(jī)殘?jiān)榷紩?yán)重削弱引線鍵合的拉力值。傳統(tǒng)的濕法清洗對鍵合區(qū)的污染物去除不徹底或者不能去除，而采用等離子體清洗機(jī)能有效去除鍵合區(qū)的表面沾污并使其表面活化，能明顯提高引線的鍵合拉力，極大的提高封裝器件的可靠性

●等離子清洗機(jī)對生物醫(yī)用材料的“清洗”

常規(guī)的清洗方法有一定的缺陷：常在清洗后仍然殘留薄薄的一層污染物。但如果采取等離子體機(jī)的活化工藝清洗，弱化學(xué)鍵將很容易被打斷，即使污染物殘留是在幾何形狀非常復(fù)雜的表面上，也照樣可以去除掉。

導(dǎo)尿管一般是以天然橡膠、硅橡膠或聚氯乙烯（PVC）材料制成，因其材料本身的生物相容性較差，需采用等離子體清洗機(jī)改性，提高基材的浸潤性，并在PVC表面涂覆了三氯生和溴硝醇，改性后的PVC材料減少了材料在使用過程中引起的患者感染，提高了材料的生物相容性.

培養(yǎng)皿、滾瓶、微載體和細(xì)胞膜等細(xì)胞培養(yǎng)基質(zhì)的表面均可以通過等離子體清洗機(jī)的改性來大大提高其潤濕性。通過控制表面的化學(xué)結(jié)構(gòu)、表面能和表面電荷狀態(tài)可以改善細(xì)胞生長情況、蛋白結(jié)合性能以及特定細(xì)胞附著性能。低溫等離子體處理設(shè)備是一種中性的、無污染的干法處理，即能清洗基體表面，亦能對基體材料進(jìn)行表面改性，改善基材表面能、浸潤性、活化等性能

等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子清潔機(jī)，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。